半导体设备国产化专题十一:离子注入机
半导体设备国产化专题十:12英寸工艺设备国产化
半导体设备国产化专题九:清洗设备:清洗设备国产化率与刻蚀设备国产化率基本持平,盛美是12寸线清洗设备国产化关键推动者
半导体设备国产化专题八:工艺控制与量测设备:国际品牌垄断市场,但国产品牌正取得突破
半导体设备国产化专题七:硅片生长及加工设备-超80%设备依赖进口,但国产化率有上升趋势