国内半导体设备招投标月度数据跟踪第3期(2021年9月):上海积塔半导体设备招标量大幅提升
电子行业研究国内半导体设备招投标月度数据跟踪第4期(2021年10月):中微公司干法刻蚀机台中标量上升
国内半导体设备招投标月度数据跟踪第13期(2022年07月):积塔/燕东微/华虹招标52/17/7台,长川/中微/至纯中标45/8/3台
国内半导体设备招投标月度数据跟踪第12期(2022年06月):积塔/华虹招标53/49台,芯源微/北方华创/拓荆科技中标15/14/11台
国内半导体设备招投标月度数据跟踪第11期(2022年05月):华虹半导体招标88台,上海积塔半导体招标77台,北方华创中标39台