国内半导体设备招投标月度数据跟踪第1期(2021年7月):北方华创5月和6月设备中标数量显著增加
国内半导体设备招投标月度数据跟踪第12期(2022年06月):积塔/华虹招标53/49台,芯源微/北方华创/拓荆科技中标15/14/11台
国内半导体设备招投标月度数据跟踪第9期(2022年03月):上海积塔半导体招标5台,燕东微电子招标11台
国内半导体设备招投标月度数据跟踪第11期(2022年05月):华虹半导体招标88台,上海积塔半导体招标77台,北方华创中标39台
国内半导体设备招投标月度数据跟踪第6期(2021年12月):北方华创设备中标量环比上升,至纯科技中标清洗设备